日本CKD精密過濾器，FS2-03-4-AC220V

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配管等存在泄漏時，實際流動的流量比計算值大。
選定流量時請考慮到配管的泄漏量。
配管過程中如果存在比吸附噴嘴直徑細小的部分，
則有時流量被堵，而比計算值要小。而且可能無法確認吸附等情況。
有效剖面積只是一種標準。噴嘴細長時，
有效剖面積比噴嘴的開口面積要小。
應答速度由流量感測器至吸附噴嘴(針孔)的配管內容積決定。
進行高速感測時請在吸附噴嘴
附近配置流量感測器，減少配管的內容積。
GNAB-5-0(-B)  單體閥 供氣：
C氣口真空泵側 黃銅底板    
GNAB-5-0-D(E)  單體閥 供氣：
C氣口真空泵側 不銹鋼底板    
GNAB-(-B)  集成 黃銅底板    
GNAB--1(2)  集成 鋁底板    
GNAB--D(E)  集成 不銹鋼底板    
GNAB-1-0(-B)  單體閥 供氣：
A氣口真空泵側 黃銅底板    
GNAB-1-0-D(E)  單體閥 供氣：A
氣口真空泵側 不銹鋼底板    
GNAB-5-0(-B)  單體閥 供氣
：C氣口真空泵側 黃銅底板    
GNAB-5-0-D(E)  單體閥 供氣：
C氣口真空泵側 不銹鋼底板
C氣口真空泵側 不銹鋼底板    
GNAB-(-B)  集成 黃銅底板    
GNAB--1(2)  集成 鋁底板    
GNAB--D(E)  集成 不銹鋼底板
GNAB-1-0(-B)  單體閥 供氣：A
氣口真空泵側 黃銅底板    
GNAB-1-0-D(E)  單體閥 供氣：
A氣口真空泵側 不銹鋼底板    
 

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